本校先進製程實驗室是由電機系余合興教授倡議，
經校長同意後，於民國2006年成立，隸屬於研發總中心。

其主要功能有二： 
１、提供全校師生研發奈米、微機電、光電及半導體等元件的製程與量測設備，改善與提升本校在材料及元件方面的研發實力。
２、建立製程相關課程的實驗環境，提供紮實的先進製程與量測技術訓練。

先進製程實驗室目前採購的設備，受限於校內空間有限，
目前暫時放置於機械系微系統實驗室與化工系貴重儀器實驗室中，
期望在多年經營後，未來能成為本校一個重要的指標實驗室。