2006/11 王子建教授採購光罩對準儀、快速熱退火系統、光學顯微鏡、與加熱板，設備放置於機械系微系統實驗室的無塵室中。
2007/05 光電系任貽均教授接任召集人。
2008/05 任貽均教授採購電子束蒸鍍系統，設備放置於機械系微系統實驗室的無塵室中。
2009/05 高分子系蘇昭瑾教授接任召集人。
2009/10 蘇昭瑾教授採購顯微拉曼光譜儀，設備放置於化工系貴重儀器實驗室。
2010/05 光電系王子建教授接任召集人。
2010/10 王子建教授採購多靶射頻濺鍍系統，設備放置於機械系微系統實驗室。
2010/11 先進製程實驗室設立網站。