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先進製程實驗室-多靶射頻濺鍍系統使用訓練課程
一、說明
先進製程實驗室於去年度採購一套多靶射頻濺鍍系統,提供全校研究上有薄膜製作需要的師生使用,設備的功能與主要規格如備註所示,使用訓練課程訂於三月四日(週五)舉行,歡迎全校有興趣的老師與研究生參加。
二、時間
100年3月4日(週五)下午 1:10 開始
三、主講人
赫普科技 / 技術工程師
四、內容
(1) 演講:射頻濺鍍原理與設備規格介紹
地點:第六教學大樓325教室
時間:下午 1:10 ~ 2:10
(2) 實作示範
地點:綜合科館121-3室(微奈米系統實驗室)
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