先進製程實驗室
沿革
本校先進製程實驗室是由電機系余合興教授倡議，
經校長同意後，於2006年成立，隸屬於研發總中心。
其主要功能有二：
１、提供全校師生研發奈米、微機電、光電及半導體等元件的製程與量測設備，改善與提升本校在材料及元件方面的研發實力。
２、建立製程相關課程的實驗環境，提供紮實的先進製程與量測技術訓練。
先進製程實驗室目前採購的設備，受限於校內空間有限，
目前暫時放置於機械系微系統實驗室與化工系貴重儀器實驗室中，
期望在多年經營後，未來能成為本校一個重要的指標實驗室。
重要記事
2006/05 先進製程實驗室成立，隸屬於研發總中心。電機系余合興教授為首任召集人
2006/11 王子建教授採購光罩對準儀、快速熱退火系統、光學顯微鏡、與加熱板，設備放置於機械系微系統實驗室的無塵室中。
2007/05 光電系任貽均教授接任召集人。
2008/05 任貽均教授採購電子束蒸鍍系統，設備放置於機械系微系統實驗室的無塵室中。
2009/05 高分子系蘇昭瑾教授接任召集人。
2009/10 蘇昭瑾教授採購顯微拉曼光譜儀，設備放置於化工系貴重儀器實驗室。
2010/05 光電系王子建教授接任召集人。
2010/10 王子建教授採購多靶射頻濺鍍系統，設備放置於機械系微系統實驗室。
2010/11 先進製程實驗室設立網站。
2006/11 王子建教授採購光罩對準儀、快速熱退火系統、光學顯微鏡、與加熱板，設備放置於機械系微系統實驗室的無塵室中。
2007/05 光電系任貽均教授接任召集人。
2008/05 任貽均教授採購電子束蒸鍍系統，設備放置於機械系微系統實驗室的無塵室中。
2009/05 高分子系蘇昭瑾教授接任召集人。
2009/10 蘇昭瑾教授採購顯微拉曼光譜儀，設備放置於化工系貴重儀器實驗室。
2010/05 光電系王子建教授接任召集人。
2010/10 王子建教授採購多靶射頻濺鍍系統，設備放置於機械系微系統實驗室。
2010/11 先進製程實驗室設立網站。